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陆军上校
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(本文来源:“蚌埠新视介”公众号)
蚌埠是国家科技创新型城市。近日,国家科技部公布了重点研发计划立项通知,其中由我们蚌埠的中国兵器工业集团微电子研究院牵头“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项中的“电容式微机械超声波换能阵列”项目获得立项批复,同时我们蚌埠的北方微电子研究院与国内知名高校和科研机构联合申报的“高温高频响硅基压力敏感元件及传感器”等10余项获得立项批复。
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我们蚌埠的“电容式微机械超声波换能阵列”项目针对无损检测和医疗成像等超声仪器对小型化、高可靠超声波探头部件的国产化需求,开发电容式微机械超声波换能阵列(CMUTs),突破高收发性能超声波换能器阵列芯片设计与制造、低噪声高增益宽带读出ASIC芯片研制以及低损耗高隔离度异质异构多芯片集成等关键技术,解决CMUTs芯片研制和多芯片3D集成时存在的科学问题,开展工程化开发、应用示范和产业化推广,形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的部件产品。该项目的批复立项体现了我们蚌埠的微电子院在MEMS领域的关键技术攻关能力,开启了微电子院在超声医疗领域MEMS器件研发的新方向。
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